中科院重庆研究院：在5nm石墨烯纳米孔精确制备技术研究中取得进展

【成果简介】

日前，中国科学院重庆绿色智能技术研究院精准医疗单分子诊断技术研究中心在5纳米石墨烯纳米孔精确制备技术研究方面取得进展，研究成果以Precise fabrication of a 5nm graphene nanopore with a helium ion microscope forbiomolecule detection为题发表在Nanotechnology期刊上。

【图文导读】

图1 实验过程图

（a）芯片清洁

（b）使用FIB进行SiNx钻孔

（c）将石墨烯转移到FIB钻孔的SiNx层上

（d）使用HIM进行石墨烯纳米钻孔

（e）使用HIM钻出的石墨烯纳米孔示意图

图2 石墨烯纳米孔

（a）HIM钻出的石墨烯纳米孔的HIM图像

（b）对应于（a）的石墨烯纳米孔阵列的TEM图像

（c）b中用绿色正方形标记的纳米孔的放大TEM图像

【研究内容】

研究团队借助氦离子显微镜，在石墨烯薄膜上制备出直径为5-30纳米可用于生物分子检测的高质量石墨烯纳米孔，实验结果显示纳米孔的扩孔行为与曝光时间并不存在线性关系。同时，制备的石墨烯纳米孔成功地对含20个碱基单链DNA均聚物进行检测分析，实现了四种均聚物的识别。

该研究得到国家自然科学基金和中科院西部联合学者计划和中科院科研仪器开发项目的资助。

原文链接：http://www.cas.cn/syky/201708/t20170831_4612861.shtml

文献链接：Precise fabrication of a 5 nm graphene nanopore with a helium ion microscope for biomolecule detection(Nanotechnology,2017,DIO:10.1088/1361-6528/28/4/045302)

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